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真空镀膜用工业冷水机组的作用
 
    中频真空镀膜机一般要配一台工业冷水机组作为镀膜机(主要是圆柱靶)的冷却设备。那么真空镀膜用冷水机组到底对真空镀膜工艺或者是镀膜设备有什么作用呢?不配冷水机组会有什么影响呢?我们一起来了解一下。

    镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射,结合差工效低光泽差。现在采用中频磁控溅射将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜,解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种,如镀钛镀锆等等。磁控溅射以溅射率高、基片温升低、膜基结合力好等优势,被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。

    那么真空溅射镀膜为什么需要使用工业冷水机组?中频设备的频率高电流大,电流在导体流动时会有集肤效应,电荷会聚集在电导表面积,这样使电导发热。所以采用中孔管做导体中间加水冷却。镀膜为什么也要用冷水机进行冷却?因为磁控溅射靶在发射时会产生高温会使射枪变形,所以它有一个水套用来冷却射枪。

    工业冷水机组可以提供恒温、恒流、恒压的冷却水,其工作原理是先向机内水箱注入一定量的水,通过制冷系统将水冷却,再由水泵将低温冷却水送入需冷却的设备,冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱,达到冷却的作用。冷却水温可根据要求自动调节,长期使用可节约用水。

    使用自然水和水塔散热都不可避免地会受到自然气温的影响,温度控制不稳定。真空镀膜用工业冷水机组具有完全独立的制冷系统,水温可在+3℃~35℃范围内调节控制,因而可以达到高精度、高效率控制温度的目的,保证镀件的产品质量。
 
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真空镀膜用工业冷水机组的作用

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